《科創(chuàng)板日報》10月23日訊（記者 吳旭光）10月22日晚間，芯源微發(fā)布三季度業(yè)績公告稱，今年前三季度，該公司營收約11.05億元，同比減少8.44%；實現(xiàn)凈利潤約1.08億元，同比減少51.12%；實現(xiàn)扣非凈利潤約0.40億元，同比減少77.97%。

其中，今年第三季度，芯源微實現(xiàn)營業(yè)收入4.11億元，同比下降19.55%；歸屬于上市公司股東的凈利潤3150萬元，同比下降62.74%。

對于業(yè)績變化，芯源微表示原因包括該公司短交驗周期訂單與長交驗周期訂單分布不均勻，導(dǎo)致分季度收入存在一定波動；加大前道Track、前道化學(xué)清洗等研發(fā)投入；該公司員工人數(shù)增長、股份支付分?jǐn)偟?，?dǎo)致管理費用、銷售費用同比大幅增加。

芯源微主營業(yè)務(wù)涉及半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)等。根據(jù)該公司最近一期財報披露的主營業(yè)務(wù)收入構(gòu)成為：光刻工序涂膠顯影設(shè)備為62.09%，單片式濕法設(shè)備為34.95%，其他(補(bǔ)充)為2.19%，其它設(shè)備為0.77%。

對于該公司新一代超高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)FTEX的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展，芯源微表示，目前超高產(chǎn)能FTEX機(jī)臺在調(diào)度設(shè)計和單元測試等研發(fā)進(jìn)展順利，其將快速推進(jìn)超高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)的驗證和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

《科創(chuàng)板日報》記者注意到，近年來，芯源微在鞏固主業(yè)市場優(yōu)勢的同時，還布局了化學(xué)清洗、臨時鍵合及解鍵合等領(lǐng)域。

報告期內(nèi)，芯源微首臺化學(xué)清洗機(jī)KS-CM300機(jī)臺發(fā)機(jī)。據(jù)悉，KS-CM300單片式化學(xué)清洗機(jī)是芯源微自主研發(fā)的首款高端設(shè)備，適用于Pre-deposition、Post-thinfilm、Post-etch等多種工藝，機(jī)臺所用高溫SPM清洗工藝被業(yè)界公認(rèn)為對28nm/14nm制程性能要求最高的工藝之一。

需要注意的是，10月22日晚間，芯源微發(fā)布公告稱部分募投項目延期。

芯源微稱，結(jié)合目前該公司募投項目的實際建設(shè)情況和投資進(jìn)度，將IPO首發(fā)募投項目“高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目（二期）”的預(yù)定可使用狀態(tài)時間，由2024 年12月8日調(diào)整到2026年12月8日。

對于項目延期原因，芯源微表示，根據(jù)該公司整體規(guī)劃， 2023年4月，其將項目實施地點由“遼寧省沈陽市渾南區(qū)彩云路1號”變更至“北至規(guī)劃路，南至創(chuàng)新路，西至沈本大街，東至沈本一街地塊”，在募投項目實施地點變更等因素影響下，造成上述項目研發(fā)周期延長。