2024年10月15日 16:43:45
國產(chǎn)光刻膠通過量產(chǎn)驗證
《科創(chuàng)板日報》15日訊,據(jù)“中國光谷”今日消息,光谷企業(yè)近日在半導(dǎo)體專用光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破:武漢太紫微光電科技有限公司推出的T150 A光刻膠產(chǎn)品,已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗證,實現(xiàn)配方全自主設(shè)計,有望開創(chuàng)國內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。該產(chǎn)品對標(biāo)國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內(nèi)稱之為“妖膠”的國外同系列產(chǎn)品UV1610,T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)到120nm,且工藝寬容度更大,穩(wěn)定性更高,堅膜后烘留膜率優(yōu)秀,其對后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好,通過驗證發(fā)現(xiàn)T150 A中密集圖形經(jīng)過刻蝕,下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。
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