財聯(lián)社5月27日電，光刻機、光刻膠概念盤中擴大漲幅，容大感光、藍英裝備、張江高科、彤程新材等多股漲停，另外強力新材、波長光電、茂萊光學、南大光電、廣信材料等十余股漲超10%。